王者荣耀下注平台官方免费下载 朗姆议论肯求在纰谬填充膜蚀刻技能具有扼制和原位钝化及硬掩模保护专利, 将膜前体震动成纰谬内的膜
国度学问产权局信息夸耀，朗姆议论公司肯求一项名为“在纰谬填充膜蚀刻技能具有扼制和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，肯求日历为2024年11月。
专利提要夸耀，本文公开触及实行具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在实行纰谬填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种措施，开云2026世界杯赛程分析官网其包括实行多个PEALD轮回以将膜千里积到纰谬中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入处置室，以将膜前体吸附到纰谬内的名义上，王者荣耀下注平台官方免费下载然后清扫该室。PEALD轮回还包括在震动法子中，使用包含反映物和扼制剂的气体夹杂物造成等离子体，以将衬底清楚于扼制剂并将膜前体震动成纰谬内的膜。PEALD轮回还包括在震动法子之后的钝化法子中，将衬底清楚于包含钝化剂的等离子体以从纰谬中的名义去除至少一些扼制剂。
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